返回上一页 节能环保项目库
项目名称
多晶硅铸锭炉用坩埚盖板及盖板表面涂层方法
所属单位
西安鑫垚陶瓷复合材料有限公司
项目简介
一种多晶硅铸锭炉用坩埚盖板及盖板表面涂层方法,采用化学气相沉积与高温处理相结合的工艺方法在炭/炭复合材料盖板的外表面制备出致密、结合力强的SiC涂层
项目优势
降低多晶硅铸锭的碳含量、延长盖板的使用寿命,尤其适用于多晶硅铸锭炉用盖板的开发和应用。
市场与应用