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项目名称
铜铟镓硒薄膜及其制备方法、装置、太阳能电池
所属单位
华夏易能(南京)新能源有限公司
项目简介
本项目关于一种铜铟镓硒薄膜及其制备方法、装置、太阳能电池。该方法包括:在惰性气体的等离子体环境下,对带钼膜的衬底蒸发硒;蒸发硒过程中,对衬底施以第一偏置电压值,使惰性气体的等离子体形成等离子体荷能粒子并轰击衬底上的硒原子;在对衬底施加的偏置电压从第一偏置电压值降至第二偏置电压值的过程中,共蒸发铟、镓和硒,使等离子体荷能粒子轰击衬底上的铟原子、镓原子和硒原子;共蒸发铜和硒,得到富铜的薄膜;在对衬底施以第三偏置电压值,且在具有惰性气体的等离子体环境下,共蒸发铟、镓和硒,使等离子体荷能粒子轰击衬底上的铟原子、镓原子和硒原子,得到富铟的铜铟镓硒薄膜。该技术方案可获得晶体结构优良、缺陷少的铜铟镓硒薄膜。
项目优势
晶体结构优良、缺陷少
市场与应用
太阳能电池